Horno de deposición de vapor químico CVD 1000 Ordm C Horno de calentamiento por fusión

2.Especificaciones técnicas y configuración básica

1. Temperatura nominal: 750 °C
2. Temperatura máxima: 1000°C
3. Dimensiones de la zona de calefacción: 770 × 770 × 300 mm (ancho × largo × largo × largo)
4. Dimensiones eficaces: 640 × 640 × 250 mm (ancho × largo × largo × largo)
5. Material de la cámara exterior: SUS310S
6. Material del revestimiento interiorCuarzo fundido
7. Tamaño del producto: Φ120
8. Capacidad de los equipos: 16 sustratos por lote
9. Potencia máxima de calefacción: 16 kW
10. Método de calentamientoBajo + Cuatro lados.
11. Puntos de control de la temperaturaBajo + lateral.
12. Tipo de termopar: Tipo K
13. Tasa de calentamiento: ≤ 8°C/min
14. Elementos de calefacción: Calentadores de fibra cerámica FEC
15. Método de apertura de la puerta del hornoDiseño de apertura superior
16. Estabilidad del control de temperatura: ± 1°C
17. Instrumento de control de la temperatura: Controlador PID importado con función de ajuste automático
18. Etapas del programa: 20 pasos
19. Alerta y protección: Alarmas por sobre-temperatura, rotura del termoparejo y otras alarmas audibles/visuales, con protección contra apagones por sobre-temperatura.
20. Aumento de la temperatura de la superficie:< 35oC.
21. Peso:alrededor de 500 kg.
22. Las dimensiones del horno:aproximadamente 1200 × 1200 × 1500 mm (W × H × D).